尼得科ABLE同芯軸減速機(jī)VRT-064C-5-F3-19DB19
nidec尼得科減速機(jī)VRT-064C-5-F3-19DB19特點(diǎn):高精度、高剛性、高扭矩、可安裝在任何電機(jī)上、不漏油、維護(hù)方便。
nidec尼得科ABLE減速機(jī)VRT系列滿足對(duì)半導(dǎo)體裝置、機(jī)床等有高精度要求客戶的需求。
在半導(dǎo)體制造的多個(gè)工藝環(huán)節(jié)中,包括刻蝕、鍍膜等等。為了提高半導(dǎo)體制造過程的精度和均勻性,半導(dǎo)體工藝必須在極度受控的真空環(huán)境中運(yùn)行。而獲得真空環(huán)境所需的設(shè)備即為真空泵。